60歲回國創(chuàng )業(yè),78歲撐起中國刻蝕機一片天!尹志堯的傳奇仍在上演
任正非曾一針見(jiàn)血指出華為之所以被卡脖子,是因為設計出的高端芯片,國內基礎工業(yè)還無(wú)法生產(chǎn)制造出來(lái),“屋漏偏逢連夜雨”,10月7日,美國將31家中國公司和相關(guān)研究機構等悉數列入實(shí)體名單,嚴格限制向其出售尖端生產(chǎn)設備以生產(chǎn)先進(jìn)制程芯片。
美國用實(shí)際行動(dòng)讓“科技無(wú)國界”成了笑話(huà),我們也該擯棄與某國合作共贏(yíng)的幻想了,唯有自力更生,實(shí)現半導體產(chǎn)業(yè)鏈的自主,才能徹底擺脫美國的技術(shù)封鎖,盡管要實(shí)現這一步,難度不亞于登天,但好在,集成電路這么復雜的產(chǎn)業(yè)鏈,也并不是美國一人說(shuō)得算,任總的話(huà)其實(shí)只說(shuō)對了一半……
“1粒米上刻1億個(gè)字”?這位傳奇大佬做到了!
“我們現在可以在一個(gè)米粒上刻1億個(gè)字”說(shuō)出這句“狂言妄語(yǔ)”的不是別人,而是傳奇海歸大佬、中國“刻蝕機之父”尹志堯,他60歲從美國空手歸來(lái),一手創(chuàng )辦的中微公司,如今已成為世界級刻蝕巨頭,并且因為技術(shù)專(zhuān)利完全自主研發(fā),連美國都無(wú)可奈何,只能白名單放行。
不過(guò)長(cháng)久以來(lái),大多數網(wǎng)友都沒(méi)聽(tīng)過(guò)尹志堯的鼎鼎大名,這與媒體選擇性渲染光刻機的卡脖子問(wèn)題不無(wú)關(guān)系,直接導致了大眾忽視了刻蝕機的重要性,實(shí)際上,在芯片制造流程中,有三大最主要生產(chǎn)技術(shù),分別為光刻技術(shù)、刻蝕技術(shù)與薄膜沉積技術(shù),對應得設備為光刻機、等離子體刻蝕機與薄膜機,這些主要生產(chǎn)設備缺一不可,而薄膜機目前不存在卡脖子問(wèn)題,刻蝕機已經(jīng)實(shí)現自主,早就具備了5nm高端芯片的刻蝕條件,臺積電、中芯國際等都是中微的客戶(hù),所以任總說(shuō)國內無(wú)法生產(chǎn)制造出海思設計的高端麒麟芯片,其實(shí)只說(shuō)對了一半——我們已經(jīng)搞定尖端SoC的自主刻蝕了,而完成這歷史性一步,最大的功臣,便是尹志堯。
為了讓讀者對大佬的有一個(gè)更豐滿(mǎn)立體的認知,照例,我們先來(lái)一段尹志堯的高光履歷表:
1944年出生的尹志堯,可以說(shuō)是名門(mén)之后,其父是在日本留學(xué)歸來(lái)報效社國的著(zhù)名電力化學(xué)專(zhuān)家,也許是耳濡目染,尹志堯自幼就對化學(xué)科學(xué)產(chǎn)生濃厚的興趣,并因為成績(jì)優(yōu)異,屢獲獎學(xué)金;
1962年,尹志堯順利考入了(后來(lái))被譽(yù)為化學(xué)專(zhuān)業(yè)天花板的中國科學(xué)技術(shù)大學(xué),畢業(yè)后,尹志堯先后被分配到蘭州煉油廠(chǎng)和中科院蘭州物理化學(xué)所工作,這一干就是10年,不過(guò),尹志堯還想在專(zhuān)業(yè)上進(jìn)一步夯實(shí)自己,他并不滿(mǎn)足于衣食無(wú)憂(yōu)的鐵飯碗,內心總有一個(gè)干大事的聲音在呼喚;
1978年,尹志堯利用業(yè)余時(shí)間學(xué)習,順利考入北大化學(xué)系,當參觀(guān)到當時(shí)國內最先進(jìn)的計算機之時(shí),尹志堯大受觸動(dòng),內心埋下了對半導體一腔摯愛(ài)的火種,取得北大化學(xué)碩士學(xué)位后,又前往美國加州大學(xué)讀博深造,僅3年時(shí)間并拿下物理系博士學(xué)位;
1983~1985年,尹志堯以工程師身份供職于硅谷英特爾公司,英特爾中心研究開(kāi)發(fā)部,是他在硅谷職業(yè)鍍金生涯的起點(diǎn),這一階段眼界和能力的開(kāi)拓,為尹志堯后續的事業(yè)騰飛埋下了伏筆;
1986年,尹志堯被LAMReasearch相中,加入LAM,僅僅花了5年時(shí)間,就帶領(lǐng)LAM走上世界之巔,成為全球最大的刻蝕機公司,彼時(shí)LAM的市場(chǎng)份額,一度高達40%,LAM一將功成,尹志堯也名氣大振,多家頂級公司均向他伸出橄欖枝,其中就包括著(zhù)名的應用材料公司、如今的半導體設備頭號大廠(chǎng)AMAT。
彼時(shí)的AMAT趁LAM管理動(dòng)蕩之際,一舉將尹志堯吸入麾下,此后的十幾年,有了尹志堯的加盟,AMAT如虎添翼,很快就躋身全球第一大刻蝕機公司之位,并且營(yíng)收規模遙遙領(lǐng)先頭號光刻機大廠(chǎng)ASML。
可以說(shuō)在上世紀80年代到2004年,是尹志堯職業(yè)生涯大放異彩的黃金二十年,他從一個(gè)小小的工程師起步,愣是干到了全球刻蝕機霸主的副總裁,不夸張地講,全世界有一半的人都在用由他(參與)主導開(kāi)發(fā)的設備。
2004年,已身居全AMAT副總裁高位的尹志堯毅然決然地辭職,帶領(lǐng)15名心腹大將,回到中國,并于同年創(chuàng )辦中微半導體設備公司,然后便有了開(kāi)頭的故事。
十年磨劍,科技報國
60歲歸國創(chuàng )業(yè),尹志堯的決心日月可鑒,不過(guò),在上海創(chuàng )辦中微的頭幾年,他惹上的麻煩就沒(méi)斷過(guò),LAM和AMAT等前東家們多次以莫須有的“攜帶技術(shù)機密”回國為由,起訴中微,妄圖將尹志堯科技報國的理想扼殺在搖籃里,但最終,他們都失算了……
打鐵還需自身硬,尹志堯從美國走得干干凈凈,幾乎是空手回國,沒(méi)有攜帶任何紙質(zhì)或電子檔的相關(guān)技術(shù)資料,因為尹志堯和團隊們篤信,我在美國能創(chuàng )造發(fā)明出一系列技術(shù)專(zhuān)利,我同樣回國后,也能通過(guò)原創(chuàng )自主技術(shù)大施拳腳,果然泛林和應用材料兩大巨頭對中微發(fā)起的連番訴訟,最終都無(wú)一例外敗北了,老美經(jīng)過(guò)反復審查,發(fā)現確實(shí)找不到中微的一丁點(diǎn)把柄后,遂對其開(kāi)放了白名單(中微可以供貨美國公司和世界各地),尹志堯不僅未被卡脖子,還意外獲得了世界通信證,創(chuàng )造了中國半導體歷史。
掃除障礙后,尹志堯率領(lǐng)團隊日夜兼程,苦拼十幾載,終于將中微公司推到了全球刻蝕設備五大供應商之列,徹底填補了國產(chǎn)高端蝕刻設備的空白,中微的技術(shù)實(shí)力有多強悍呢?
截至2021年底,中微累計申請專(zhuān)利2012項,其中發(fā)明專(zhuān)利高達1741項,實(shí)用新型專(zhuān)利251項,其余專(zhuān)利20項,發(fā)明專(zhuān)利占比近90%,值得一提的是,僅尹志堯個(gè)人,就斬獲了400多項國內外專(zhuān)利,一流的研發(fā)實(shí)力與智慧成果產(chǎn)出能力,成了中微最大的底氣。
所謂藝高人膽大、能者亦多勞,尹志堯的中微團隊,還曾于2017年參與到華為海思麒麟970芯片的研發(fā),對華為AI芯片的迭代進(jìn)化,起到了至關(guān)重要的作用,當然,這是后話(huà)了。
2018年4月,中微率先突破5nm刻蝕技術(shù),在業(yè)界引發(fā)轟動(dòng),不過(guò)彼時(shí)不少媒體和自媒體卻以博眼球為目的,毫不負責地稱(chēng)“我們已突破5nm芯片制造工藝”,這一度讓尹志堯很苦惱,因為他明白,科研人最該有一說(shuō)一,腳踏實(shí)地,中微可以刻蝕5nm高端芯片了,但是并不表示,我們可以無(wú)懼美國制裁了,因為,把IC設計圖案“印制”到化學(xué)薄膜上還需要依賴(lài)ASML 的EUV光刻。
2021年4月,尹志堯在楊瀾訪(fǎng)談錄節目《逐風(fēng)者》中透露,中微3nm刻蝕機Alpha原型機的設計、制造、測試及初步的工藝開(kāi)發(fā)和評估等系列工作已完成,在尹志堯看來(lái),摩爾定律就是要被不斷打破的,他表示他和半導體行業(yè)的從業(yè)者們,還在全力沖擊2nm、1nm的物理極限,“我們的刻蝕機其實(shí)已經(jīng)刻到一兩個(gè)原子這樣的準確度”,這大抵就是無(wú)雙的技術(shù)自信吧!
當然,中微為我國半導體設備的自主做出了重要的貢獻,國家更是沒(méi)虧待過(guò)它,甚至可以說(shuō)自尹志堯歸國創(chuàng )業(yè)時(shí),就高度重視,并且持續大力扶持,僅有據可查的真金白銀就有國家大基金一期投資(具體數額不詳,保守估計10億以上)和高達25億的大基金二期投資。
不過(guò),這也是尹志堯和中微該得到的優(yōu)待,投資這樣一個(gè)自主刻蝕龍頭,總比把海量資金砸給那些個(gè)騙補貼的芯片項目要靠譜一萬(wàn)倍吧?
截至2022年6月末,尹志堯持股620萬(wàn)股,占公司已發(fā)行股本的1%,中微給尹志堯開(kāi)出的薪酬也很有誠意,高達669.68萬(wàn)元,當然,哪怕是千萬(wàn)年薪,都不為過(guò),因為像尹志堯、梁孟松這些技術(shù)大佬,創(chuàng )造出的直接經(jīng)濟價(jià)值,都是億計的,對中國半導體產(chǎn)業(yè)鏈的貢獻和深遠影響,更絕非金錢(qián)可衡量的。
中微和尹志堯的傳奇故事還在繼續,接下來(lái),我們就該展望上微在自研光刻機領(lǐng)域上帶給我們的驚喜了,相信有這樣一群立志報國的頂級科學(xué)家和企業(yè)家們,我們徹底擺脫美國的技術(shù)封鎖,只是時(shí)間早晚!
未來(lái)的第一科技強國,必將屬于中國!
參考資料:
經(jīng)濟觀(guān)察報、中微公司公開(kāi)報道、楊瀾訪(fǎng)談錄等,圖源網(wǎng)